本文将两个单级泵串联起来，介绍双级旋片真空泵的结构和工作原理。

　　因为：（1）单级旋片式真空泵的结构存在有害空间，不能排除该空间中的气体。旋转片通过排气口后，该部分气体被压缩，通过转子与泵腔之间的间隙返回吸气空间，因此每次都有不能排出的气体。

　　（2）由于单级旋片真空泵工作时，泵腔的吸气空间与排气空间存在一定的压力差。当排气空间的气体被压缩得很小时，它的压力很高，所以它会通过各种可能的方式突破吸气空间，从而降低泵的真空度。

　　（3）泵油在泵体内循环流动时会溶解到大量的气体和蒸汽中。吸气侧，由于压力低，溶解的气体会再次流出，使泵的真空度难以提高。

　　为了提高泵的极限真空度，除了提高泵体、转子、旋转片的加工精度，尽量减少组装间隙和有害空间外，最有效的方法是将两个单级泵串联起来，形成双级旋转片式真空泵。

　　泵由两个工作室组成。前级泵为低真空级（也称为第一级、低级），后级泵为高真空级（也称为第二级、高级），被抽气体通过后级进入前级，通过排气阀排出泵外。前后两级稍有不同：后级泵腔（缸）大于前级，前级和单极泵一样，随时都有油进入泵腔，而后级只在开始工作时有少量的油，工作一段时间后，就没有油进入泵腔。后工作时，部分气体从后排气阀直接排入大气，部分气体通过前排气泵排入大气；工作一段时间后，后排气体经过压缩，压力达不到一个大气压以上，推不开后排气阀，这些气体就完全从前排气阀排出。抽气时间一长，后泵进气口的压力就会大大降低，泵出口的压力差也就会小，被压缩气体返回的数量就会相应减少，后泵中容易蒸发的油分子就会不断被前排出。

　　I室和5室旋片的安装位置是相互垂直的。所以，保证第一级排气时，第二级正好是抽气，使其能够同步工作。泵工作一段时间后，II室吸入的气体压力较低时，II室压缩，压力也达不到大气压以上，无法排出辅助排气阀，吸入的气体全部进入前级a室，I室继续压缩，排气阀排出。

　　泵工作一段时间后，由于高真空级进气压力大大降低，出口压力也很小，所以II室进出口压差较小，压缩气体返回的数量也相应减少；同时，后级泵中易蒸发的油分子不断被前级I室抽走，油蒸气分压降低，因此双级泵的油污染小于单级，极限真空度将大大提高。国内双旋片真空泵的极限真空度可达10-2Pa，国外一些泵的极限真空度可达10-3Pa。